TEL. 06-6309-5300
〒532-0011 大阪市淀川区西中島6-1-15アセンズ新大阪2F
・半導体・液晶製造設備などに係る、クリーンルーム内作業全般をサポートさせていただいております。
・半導体前工程〜基板実装工程まで、様々な経験をしたエンジニアがお客様のご要望にお応えさせていただきます。
・ZEN社のエンジニアは、元装置メーカー出身者、元デバイスメーカー出身者など経験豊富な人材が多数在籍しておりますので、是非ご活用下さい。
・レンタルクリーンスペース:ZEN大阪本社工場レイアウト図へ
・業界での経験が豊富な人材が、御社の悩みを解決すべく、様々なコンサルタント支援させていただきます。
・特に、半導体製造装置及び液晶製造装置の延命化、中古設備の導入など、なんでもご相談ください。
・既に、純正メーカーの供給が停止したパーツなども、代替品の提案を含め改造、修理など多方面からの提案をさせていただきます。
・短期、長期間に係らず、経験豊富なエンジニアリングサービス対応をさせていただきます。是非ピンポイントで(CVD装置に詳しいエンジニアは?プロセスまでトータルサポートが可能なエンジニアは?など)お問い合わせください。
・英語、中国語でのサポート対応が可能なエンジニアも在籍しております。是非ご活用下さい(初めての中国進出の際など、お問い合わせください、豊富な経験情報をもとに、ベストな提案をさせていただきます)。
設備導入時の組立〜立上げ〜メンテナンスのトータルサポートを行います。特に、半導体製造設備の前工程(CVD、ETCH、スパッタ、インプラなど)真空装置経験者が多く在籍しております。
真空装置(DRY)だけでなく、洗浄装置(WET)経験者も在籍しておりますので、是非お問い合わせください(対応可能な対象装置に関しましては、別途資料を参考の上、お問い合わせください)。
中古装置導入など、様々な場面でのトラブル及び延命化対策などもご相談ください。
旧型のパソコン、PLC、タッチパネルなど、既にメーカー各社がサポート停止している部品供給も可能です(新品、中古品、代替品など)。一度ご相談ください、他社で実績のある安価な部品提案など可能です。
ESC(静電チャック)の再生も取扱いしております。
創業時よりご好評頂いております、エンジニアリング対応サービスなど、ピンポイントでの対応(例:CVD経験者を1か月間だけ、etc)が可能です。是非ご活用下さい。
製造ライン変更に伴う、工場内での移設、装置売却に伴う解体作業〜購入先での立上げ作業まで一括対応可能です。設備移設時に、リファブ(メンテナンス)なども対応します。
10年以上使用した設備のリファブ対応します。ZEN社のクリーンルームでのリファブ、御社工場内でのリファブ、どちらでもご相談ください。
定期メンテナンス(真空排気ラインの交換、ETCHチャンバークリーニングなど)もご相談ください。ベストなメンテナンスをご提案させて頂きます
ZEN社には、英語、中国語でのコミュニケーションが可能なエンジニアが在籍しております。アジア地区でのサポート(移設、改造、メンテナンスなど)ご相談下さい(経験地域:韓国・台湾・中国・インドネシア・ベトナム・シンガポール・アメリカなど)。
DNS社製洗浄装置F-WETPDF
(FS820L,FS821,FC820,FC821,FC3000,
FC3100,SS3000,SU3000など)リファブ、移設、改造対応
SEMITOOL社製洗浄装置PDF
(DSST,SST,SRDなど)リファブ、移設、改造対応
AKT社製PECVD装置(液晶基板)
(AKT1600,AKT3500,AKT5500など)リファブ、移設、改造対応
ULVAC社製スパッタ装置
(CERAUS-Zi1000,CERAUS-Zx1000,
SH450,SME200,
NCH4500 など)リファブ、移設、改造対応
エクセル社製リフロー炉
(ER1000CN,ER700C,ER500など)リファブ、移設、改造、保守
芝浦社製ドライETCH装置
(CDE-73,CDE-80など)リファブ、移設
プラズマシステム社製アッシャー
(DES212など)リファブ、移設
DNS社製ランプアニール装置
(LA820 LA830など)リファブ、移設
ULVAC社製イオン注入装置
(IDZ8001など)移設、改造
日新社製イオン注入装置
(NH-20SR,NH-20Sなど)移設、改造
SEZ社製洗浄装置PDF
(SEZ-223など)リファブ、移設、改造
その他各種装置(下記)移設、改造
・ULVAC社製液晶用スパッタ:SMD450
・ULVAC社製液晶用スパッタ:SMD950
・日本ASM社製横型炉:PXJ200
・バリアン社製インプラ:120XP
・MRC社製スパッタ:943
・ULVAC社製蒸着機:EX-550-C10
・CANON社製常圧CVD:APT4800
・アネルバ社製スパッタ:ILC-1051
・ノベラス社製CVD:Concept-1
・DNS社製コーターデベ:SKW-636
・日立製ドライETCH:M-308,M600など
・CANON社製アッシャー:MAS-8000
・TEL社製ETCH:T-8401,8500など
・ASM社製CVD:EAGLE-10
・TEL社製LP-CVD:α8
・カイジョー社製WET装置各種
・TEL社製ETCH:TE480,TE580,Unity