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半導体 液晶 製造装置 中古装置 SST SRD DNS SEZ NISON CERAUS CVD PVD IMPLA スパッタ 真空ポンプ リファブ オーバーホール タッチパネル ロボット など

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バナースペース

延命化ビジネス:サービスサポート例

DNS社製洗浄装置F-WETPDF
(FS820L,FS821,FC820,FC821,FC3000,
FC3100,SS3000,SU3000など)リファブ、移設、改造対応

SEMITOOL社製洗浄装置PDF
(DSST,SST,SRDなど)リファブ、移設、改造対応

AKT社製PECVD装置(液晶基板)
(AKT1600,AKT3500,AKT5500など)リファブ、移設、改造対応

ULVAC社製スパッタ装置
(CERAUS-Zi1000,CERAUS-Zx1000,
SH450,SME200,MCH4500 など)リファブ、移設、改造対応

エクセル社製リフロー炉
(ER1000CN,ER700C,ER500など)リファブ、移設、改造、保守

芝浦社製ドライETCH装置
(CDE-73,CDE-80など)リファブ、移設

プラズマシステム社製アッシャー
(DES212など)リファブ、移設

DNS社製ランプアニール装置
(LA820 LA830など)リファブ、移設

ULVAC社製イオン注入装置
(IDZ8001など)移設、改造

日新社製イオン注入装置
(NH-20SR,NH-20Sなど)移設、改造

SEZ社製洗浄装置PDF
(SEZ-223など)リファブ、移設、改造

その他各種装置(下記)移設、改造
・ULVAC社製液晶用スパッタ:SMD450
・ULVAC社製液晶用スパッタ:SMD950
・日本ASM社製横型炉:PXJ200
・バリアン社製インプラ:120XP
・MRC社製スパッタ:943
・ULVAC社製蒸着機:EX-550-C10
・CANON社製常圧CVD:APT4800
・アネルバ社製スパッタ:ILC-1051
・ノベラス社製CVD:Concept-1
・DNS社製コーターデベ:SKW-636
・日立製ドライETCH:M-308,M600など
・CANON社製アッシャー:MAS-8000
・TEL社製ETCH:T-8401,8500など
・ASM社製CVD:EAGLE-10
・TEL社製LP-CVD:α8
・カイジョー社製WET装置各種
・TEL社製ETCH:TE480,TE580,Unity