本文へスキップ

半導体 液晶 製造装置 中古装置 SST SRD DNS SEZ NISON CERAUS CVD PVD IMPLA スパッタ 真空ポンプ リファブ オーバーホール タッチパネル ロボット など

TEL. 06-6379-0580

〒533-0032 大阪市東淀川区淡路5−9−5

NEDIA : 一般社団法人 日本電子デバイス産業協会の正会員となりました。
Google : 最新情報(スペアーパーツの在庫情報など)をご覧いただけます。★クリック★

TOPICS

  • WSST(SST−C−742−280−K)8インチ仕様を在庫で保有しております。クリーンルームで保管中。1997年製で、6インチへの改造も承ります。薬液供給ユニットなどフル装備です。詳細はこちらから確認して下さい。
  • 装置延命化サービスとして、ZEN社内にある在庫(希少価値のある)情報を日々更新しております。下記のGoogle+ビジネスサイトにてご覧下さい。→→Google+ZENOWLSページへ
  • SEZ 社製WET装置 ( SEZ201 SEZ203 SEZ223 SEZ4200 SEZ323 SEZ304 SEZ4300 DV34 DV38)のサービスサポートを開始。TSMC(台湾)で多くの実績があるDCI社(台湾)と正式契約を完了。 PDF
  • エクセル社製リフロー炉の正規サービスサポートを開始。純正パーツの供給体制も整えておりますので、いつでもご要望下さい(中古装置も所有・リファブ・定期メンテナンスなど)。 PDF
  • 日本国内、台湾、韓国、中国本土だけでなく、アジア各国(シンガポール、ベトナム、マレーシアなど)への技術サポートも行っております。
  • クリーンルームレンタル:大阪本社1階にクラス10000のクリーンルームを完備。1日単位でのレンタル可能です。リファブなどの際にご活用下さい。 工場(クリーンルーム)レイアウト図

NEWS新着情報

2015年12月25日
2015年12月29日(火)〜2016年1月3日(日)の間、年末年始休暇とさせて頂きます.2016年1月4日(月)より通常業務となります.
2015年10月1日
三重県四日市市に、四日市事務所を開設。住所:三重県四日市市安島2−8−7南川ビル2階
2015年5月10日
株式会社SUS人材ソリューション部との業務提携により、クリーンルーム作業対応エンジニア教育&管理サポート業務を開始
2015年3月13日
エクセルリフローのサポート(延命化)業務に関してのお知らせ。2011年にエクセル社より業務サポート引継ぎを進め、可能な限りの対応をさせて頂きましたが、部品の供給などが大変困難な状況下であります事をご理解願います。詳細はこちら(PDF:エクセルリフローサポート業務)。
2014年12月1日
2014年12月27日(土)〜2015年1月4日(日)の間、年末年始休暇とさせて頂きます。2015年1月5日(月)より通常業務となります。
2014年8月7日
半導体製造装置の延命化に取り組みます。この度、ZEN社が保有しております保守部品(主要な部品のみ)を掲載しております。→リンク先→
2014年7月14日
8月13日(水)〜8月17日(日)まで夏季休暇のため、お休みさせて頂きます。18日(月)より通常業務となります。
2014年7月11日
本社(大阪)移転しました。旧本社より徒歩3分程の場所へ移転のため、電話番号、FAX番号及び郵便番号などに変更はありません。           新住所:大阪市東淀川区淡路5−9−5
2014年4月14日
2014年GW休暇は、暦通りの休暇とさせて頂きます。4月28日(月)、4月30日(水)〜5月2日(金)は通常業務となります。また、5月7日(水)より通常業務となります。
2013年11月15日
2013年12月28日(土)〜2014年1月5日(日)まで年末年始休暇のため、お休みさせて頂きます。6日(月)より通常業務となります。
2013年10月7日
一般社団法人 日本電子デバイス産業協会(略称:NEDIA)の正会員になりました。
2013年9月24日
台湾DCI社とSEZ社製装置サービスサポート業務に関して、正式に技術提携を結びました。多種業務が対応可能になりました。 PDF
2013年7月22日
8月14日(水)〜8月18日(日)まで夏季休暇のため、お休みさせて頂きます。19日(月)より通常業務となります。
2013年7月1日
ホームページを全面リニューアルしました。
2013年4月1日
5月3日(金)〜6日(金)までGW休暇のため、お休みさせて頂きます。5月7日(火)より通常業務となります。
2012年11月13日
セミコンジャパン幕張2012出展のお知らせ:12月5日(水)〜7日(金)の3日間、幕張メッセで開催されるセミコンジャパン2012にJSENAブース内でZEN社も出展します(ホール8、中古装置パビリオン)。
2012年11月13日
2012年12月29日(土)〜2013年1月6日(日)まで年末年始休暇のため、お休みさせて頂きます。7日(月)より通常業務となります。
2012年7月26日
8月12日(日)〜8月19日(日)まで夏季休暇のため、お休みさせて頂きます。20日(月)より通常業務となります。
2012年4月3日
4月28日(土)〜4月30日(月)及び、5月3日(木)〜5月6日(日)までGW休暇のため、お休みさせて頂きます。※5月1日(火)、5月3日(水)は通常業務となります。
2011年11月15日
年末年始休業日のお知らせ。 PDF
2011年11月15日
セミコンジャパン幕張2011出展のお知らせ。
2011年5月13日
エクセル社製リフロー炉のサービスサポートのお知らせ。 PDF
2010年2月25日
新横浜事業所閉鎖のお知らせ。
2009年9月30日
取扱いを中止する商品(HDD、タッチパネル)のお知らせ。 PDF

バナースペース

延命化ビジネス:サービスサポート例

DNS社製洗浄装置F-WETPDF
(FS820L,FS821,FC820,FC821,FC3000,
FC3100,SS3000,SU3000など)リファブ、移設、改造対応

SEMITOOL社製洗浄装置PDF
(DSST,SST,SRDなど)リファブ、移設、改造対応

AKT社製PECVD装置(液晶基板)
(AKT1600,AKT3500,AKT5500など)リファブ、移設、改造対応

ULVAC社製スパッタ装置
(CERAUS-Zi1000,CERAUS-Zx1000,
SH450,SME200,MCH4500 など)リファブ、移設、改造対応

エクセル社製リフロー炉
(ER1000CN,ER700C,ER500など)リファブ、移設、改造、保守

芝浦社製ドライETCH装置
(CDE-73,CDE-80など)リファブ、移設

プラズマシステム社製アッシャー
(DES212など)リファブ、移設

DNS社製ランプアニール装置
(LA820 LA830など)リファブ、移設

ULVAC社製イオン注入装置
(IDZ8001など)移設、改造

日新社製イオン注入装置
(NH-20SR,NH-20Sなど)移設、改造

SEZ社製洗浄装置PDF
(SEZ-223など)リファブ、移設、改造

その他各種装置(下記)移設、改造
・ULVAC社製液晶用スパッタ:SMD450
・ULVAC社製液晶用スパッタ:SMD950
・日本ASM社製横型炉:PXJ200
・バリアン社製インプラ:120XP
・MRC社製スパッタ:943
・ULVAC社製蒸着機:EX-550-C10
・CANON社製常圧CVD:APT4800
・アネルバ社製スパッタ:ILC-1051
・ノベラス社製CVD:Concept-1
・DNS社製コーターデベ:SKW-636
・日立製ドライETCH:M-308,M600など
・CANON社製アッシャー:MAS-8000
・TEL社製ETCH:T-8401,8500など
・ASM社製CVD:EAGLE-10
・TEL社製LP-CVD:α8
・カイジョー社製WET装置各種
・TEL社製ETCH:TE480,TE580,Unity